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被禁止出口的材料,制造光刻机关键技术,国产
编辑:admin  发布日期:2021年06月11日 00时00分00秒

原标题:被禁止出口的材料,制造光刻机关键技术,国产领先海外数十年 在大多数人的印象中,在半导体领域起步晚的中国,往往是被实施封锁的一方。

但事实上,我国的研发能力并不差,而且也掌握了不少核心技术或者关键材料。

BBO这类中国创造的非线性光学晶体,就曾是被我国禁止出口的材料之一。

所谓BBO,指的是低温相偏硼酸钡,属于非线性光学晶体的一种,能够改变激光的输出频率或者波长。

笔者了解到,国产BBO能够将近红外激光转变为绿光激光、紫外激光等波长更短的激光。

众所周知,在芯片制造领域,作为核心光源的激光的波长越短,就越能够实现高精度的光刻工艺。

而中国推出BBO是在1986年,在那个年代,BBO在全球半导体制造业引起的轰动可想而知。

甚至于,同年4月28日,几十名来自美国的顶尖专家、科学家们被紧急召集起来讨论:“为什么国际最先进的非线性光学材料的物理思想,来自中国而不是美国?”

即便如此,美国人仍然没能阻挡住横空出世的“中国晶体”的爆发。

在推出BBO之后,我国很快便研制出LBO、KBBF等更先进的光学晶体。

其中1989年出世的KBBF,还打破了当时整个国际激光界的“200nm壁垒”。

彼时,国产领先海外数十年,连美国都将国产KBBF晶体视为战略物资。

直到2009年,我国才意识到光学晶体的重要性,并正式停止对外出口。

然而,即便中国掌握了核心材料,拥有全球最先进的非线性光学晶体。

但在被海外实施技术封锁的情况下,其他零部件长期落后于海外巨头。

这导致,至今为止,国内整个激光产业链仍然无法实现独立自主。

在部分高端设备上,更是高度依赖进口。

申万宏源公布的数据表明,我国中低功率激光器的国产化率都达到了50%以上,但高功率激光器国产化程度还不足40%。

除了高端设备国产化程度低之外,国内激光产业集中度也亟待提升。

据笔者了解,直到2019年,我国形成规模的激光企业超过150家,年收入超过50亿的只有两家,能够引领中国激光产业发展进阶的龙头企业太少。

在产业协同效应受限、配套产业发展不完善的情况下,我国并没有享受到自己在光学晶体技术上领先世界的福利。

放眼全球,美国、欧洲等国家和地区正在加紧光学晶体的研发。

如果我国不能在保证技术优势的同时壮大整个产业链,很可能会令激光产业陷入更严峻的被动局面。

文/谛林 审/球子 责任编辑:


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